台积电(2330)A16制程预计2026年第4季正式量产,先进制程竞争将由过去GAA电晶体结构,进一步延伸至晶背供电架构、制程整合能力及量产良率。法人预期,日月光投控(3711)、中砂(1560)、升阳半导体(8028)等相关供应链可望明显受惠。
投顾法人分析,AI与HPC晶片朝更高电晶体密度与功耗发展,先进制程瓶颈已由电晶体微缩延伸至供电架构。传统逻辑晶片讯号与电源皆由晶圆正面传输,制程持续微缩后,金属线宽缩小推升互连电阻,电源线路亦与讯号线路竞争有限的布线空间,使压降与布线壅塞逐步限制晶片效能。
晶背供电(BSPDN)则将电源线路移至晶圆背面,讯号仍由正面传输,再透过垂直导通结构将电力送至电晶体附近,不仅可降低供电阻抗与压降,也能释放正面布线空间,进一步改善效能、功耗与逻辑密度,成为GAA后延续先进逻辑制程微缩的重要技术。
从竞争格局来看,法人指出,晶背供电由个别厂商差异化技术,逐步转为全球先进逻辑制程的标准竞争项目。英特尔已于18A导入PowerVia,三星亦规画于SF2Z导入、2027年进入量产。
台积电A16正式量产后,第4季将是晶背供电由技术验证转向量产验证的重要分水岭,2027年有机会进一步进入客户渗透率与晶圆投片量扩张阶段。
法人预期,台积电A16导入Super Power Rail晶背供电,新增晶圆接合、极薄化、CMP、晶背蚀刻、薄膜沉积及检测量测等制程,带动单片晶圆设备与耗材价值提升,中砂受惠CMP制程与钻石碟耗材需求增加,升阳半导体则拜设备调机、制程验证及量产监控带动再生晶圆需求。
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